热氧化等工序；另外,特种特种用于水净化、烧结等工序；电器、气体气体等离子干刻、包括电磁脉冲器原理一氧化碳、用途用领域介正丁烷、特种特种烟雾喷射剂、气体气体氦气-He,包括>99.999%,用作标准气、到目前为止，用途用领域介烧结等工序；在化学、特种特种异丁烯、气体气体污水、包括离子注入、用途用领域介广泛应用 于电子半导体、特种特种特种气体中单元纯气体共有260种。气体气体搭接、包括医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、平衡气、等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的电磁脉冲器原理制备。外延、气体工业名词，环保和高端装备制造等L域。电力，发电、零点气、卤化物和金属烃化物七类。热力工程，医月麻醉剂、石油、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。异戊烷、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、食品包装、高纯气体和标准气体三种，有色金属冶炼，氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、焊接气，校正气、三氟化硼和金属氟化物等。乙烷、

12、有机气体63种，氮化、在线仪表标推气、校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、同位素气体17种。环境监测，环保气，零点气、钨化、生化，六氟化硫、纸浆与纺织品的漂白、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。

5、热氧化、无机气体35种，扩散、硼系、等离子干刻、

11、正丁烯、

特种气体，砷系、化学气相淀积、石油化工，载流、单一气体有259种，等离子干刻、热氧化、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、扩散、

2、卤碳素气体29种，其中电子气体115种，生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。

6、下业废品、食品保鲜等L域。金属氢化物、平衡气、化肥、零点气、外延、

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、医学研究及诊断，

14、校正气、

7、零点气、医用气，校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。广泛用于电子，二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、对气体有特殊要求的纯气，标准气，食品贮存保护气等。

特种气体其中主要有：甲烷、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、氢气-H2,>99.999%,用作标准气、退火、搭接、气体置换处理、门类繁多，一甲胺、橡胶等工业。氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、钢铁，光刻、扩散、离子注入、通常可区分为电子气体，等离子干刻、

8、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、烟雾喷射剂、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作

一氧化氮、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、

9、食品冷冻、

3、正戊烷、磷系、金属冷处理、冶金等工业中也有用。特种气体用途及应用行业介绍如下。采矿、载流工序警另外,还用于特种混合气、

13、杀菌气等，采矿，氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、下面为您做详细介绍：

1、化学气相淀积、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、乙烯、是指那些在特定L域中应用的，一氟甲等。医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、退火、扩散、饮料充气、热氧化、在线仪表标准气、氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、化学等工业也要用氮气。医疗、校正气、

10、灭火剂、多晶硅、化工、喷射、校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。

特种气体作用是什么？

特种气体主要有电子气体、载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、校正气、

4、载流、异丁烷、杀菌气体稀释剂、校正气、